產品介紹

4200A 參數分析儀
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Keithley Parameter Analyzer Series 4200A  | 洛克Lockinc

4200A-SCS

Keithley參數分析儀(新)

產品說明
使用 4200A-SCS 加速半導體裝置、材料和製程開發的研究、可靠性和故障分析研究。 最高效能參數分析儀,其可提供同步電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V),以及超快速脈衝 I-V 量測。
型錄下載 (1.8 MB)
手冊下載 (3.9 MB)
功能說明

洞察特性的速度加快 2 倍,讓您能勇敢地探索

4200A-SCS 是模組化、可自訂且完全整合的參數分析儀,能針對電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 及超快速脈衝 I-V 電子特性提供同步見解。其選購的 4200A-CVIV 多重切換模組能夠毫不費力地在 I-V 與 C-V 量測之間切換,無須重新佈線或升起探針。4200A-SCS 是效能最高的分析儀,可加速測試複雜的裝置,以供材料研究、半導體裝置設計、製造開發或生產之用。

讓您的創新成為現實。4200A-SCS 是一部可自訂和完全整合的參數分析儀,可為電流-電壓(I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快速脈衝的 I-V 特性分析提供同步的深入解析。4200A-SCS也是效能最高的參數分析儀, 可有效加速半導體、材料和製程的開發。

4200A-SCS Clarius GUI式軟體提供了清晰、不打折扣的量測和分析能力。 配備內嵌的量測專業知識和數以百計隨時可用的應用測試,Clarius 軟體不僅讓您能快速深入解析研究,還能對量測結果充滿信心。

關鍵效能規格

I-V 電源量測設備 (SMU)

  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模組
  • 100 fA 量測解析度
  • 0.1 fA 量測解析度,含選配前置放大器
  • 10 mHz – 10 Hz 極低頻率電容量測
  • 4 象限操作
  • 2 或 4 線連接

C-V 多重頻率電容設備 (CVU)

  • AC 阻抗量測 (C-V、C-f、C-t)
  • 1 kHz – 10 MHz 頻率範圍
  • ± 30 V (60 V 差動式) 內建直流偏壓,可擴展為 ± 210 V (420 V 差動式)
  • 利用與選配的 CVIV 多重切換功能在 I-V 和 C-V 量測間簡單切換

脈衝 I-V 超快速脈衝量測設備 (PMU)

  • 兩個獨立或同步的高速脈衝 I-V 輸出和量測通道
  • 200 MSa/sec,5 ns 取樣率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 暫態波形擷取模式
  • 任意波形產生器分段 ARBR 模式,可用於多重位準脈衝波形,具 10 ns 可程式解析度

高電壓脈衝產生器設備 (PGU)

  • 兩個高速脈衝 V 輸出通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形產生器分段 ARBR 模式,可用於多重位準脈衝波形,具 10 ns 可程式解析度

I-V/C-V 多重切換模組 (CVIV)

  • 輕鬆在 I-V 和 C-V 量測之間切換,不需重新佈線或提起探測器針頭
  • 將 C-V 量測移到任何終端,不需重新佈線或提起探測器針頭

遠端前置放大器/切換模組 (RPM)

  • 自動在 I-V、C-V 和超快速脈衝 I-V 量測之間的切換
  • 將 4225-PMU 的電流靈敏度擴展至數十皮安
  • 減少電纜電容效應
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