四點探棒量測技術
|
|
半導體材料研究和裝置測試通常涉及確定樣品的電阻率和霍爾遷移率。電阻率取決於多種因素，包括材料摻雜、加工以及溫度和濕度等環境因素。在裝置中，電阻率會影響電容、串聯電阻和閾值電壓。
半導體的電阻率通常使用四點探棒技術來確定。若使用四個探棒，將可消除由於探棒電阻、每個探棒下的擴展電阻以及每個金屬探棒與半導體材料之間的接觸電阻而產生的量測誤差。
本應用摘要介紹如何使用 2450 機型和四點共線探棒對材料進行電阻率量測，立即下載瞭解如何使用電源量測設備對材料進行電阻率量測！
熱門推薦儀器：
Keithley 2400 圖形化 SourceMeter SMU 儀器
Keithley 2400 圖形化系列 SMU 儀器可提供四象限精密電壓和電流輸出/負載與量測功能，並具備直覺易用的觸控式螢幕使用者介面。這些儀器可同時輸出和量測 10 fA 至 10 A 脈衝的電流和/或 100 nV 至 1100 V 的電壓 (1000 W 脈衝和100 W 直流總功率)，讓使用者輕鬆地「觸控、測試、創新」(Touch Test Invent®)。
|
|
|
|
|
|
